氦質譜檢漏儀分子泵維修案例

氦質譜檢漏儀分子泵維修故障及處理

　　1、儀器界面上TMP顯示“0"即分子泵沒有工作

　　有可能是前級壓力過高(該分子泵的啟動壓力為200Pa)導致分子泵無法啟動。檢查導致壓力過高的項目有：真空規管是否有問題，分子泵出口是否打開，機械泵油是否太臟或機械泵是否轉動，系統是否有泄漏。也有可能是分子泵的葉片或轉子被損害，可自行用工具撥動葉片，判斷其能否轉動。

　　2、分子泵加速指示燈不亮

　　電路板上的保險絲燒斷，更換保險絲或檢查是否有短路現象。

　　3、分子泵故障燈亮

　　檢查電路板設置開關是否處于R位置，此時應該在N位置。檢查風扇是否停止，如風扇正常，則可能為氦質譜檢漏儀分子泵電源故障

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