服務(wù)熱線:
          13817011982
          您的位置: 首頁>技術(shù)文章>磁控濺射鍍膜常見故障及解決辦法

          磁控濺射鍍膜常見故障及解決辦法

          日期:2021-12-08   瀏覽量:6584

          磁控濺射鍍膜常見故障及解決辦法

          1.無法起輝

          (1)直流電源故障,檢查直流電源;

          (2)氬氣進氣量小,檢查氬氣流量計或加大氬氣進氣量;

          (3)真空室清潔度不夠,清潔真空室;

          (4)靶材絕緣度不夠,檢查靶是否與地短路,在通水的情況下,對地電阻應(yīng)該在50kΩ以上;

          (5)磁場強度不夠,檢查永磁體是否消磁;

          (6)真空度太差,檢查真空系統(tǒng)。

          2.輝光不穩(wěn)

          (1)電壓電流不穩(wěn),檢查電源;

          (2)真空室壓力不穩(wěn),檢查氬氣進氣量及真空系統(tǒng);

          (3)電纜故障,檢查電纜是否連接良好。

          3.成膜質(zhì)量差

          (1)基片表面清潔度差,清潔基片表面;

          (2)真空室清潔度差,清潔真空室;

          (3)基片溫度過大或過小,檢查溫控系統(tǒng),校準熱電偶;

          (4)真空室壓力過大,檢查真空系統(tǒng);

          (5)濺射功率設(shè)置不當,檢查直流電源,設(shè)置何事的設(shè)定功率。

          4.濺射速率低

          (1)氬氣進氣量過大或過小,觀察輝光顏色可以判定氬氣是過大還是過小,據(jù)此調(diào)整氬氣進氣量;檢修流量計;

          (2)靶材過熱,檢查冷卻水流量;

          (3)檢查永磁體是否消磁。


          在線咨詢 聯(lián)系方式 二維碼

          服務(wù)熱線

          021-50157782

          掃一掃,關(guān)注我們

          欧美 亚洲 日韩 中文2019| 免费无码又爽又刺激高潮视频| 中文字幕无码AV波多野吉衣| 97人妻无码一区二区精品免费| 暖暖免费日本在线中文| 亚洲av无码成h人动漫无遮挡 | 国产在线无码一区二区三区视频| 日韩成人无码中文字幕| 亚洲熟妇无码另类久久久| 永久无码精品三区在线4| 免费A级毛片无码无遮挡内射 | 日韩av无码一区二区三区| 最近2019中文免费字幕在线观看| 亚洲精品无码久久久影院相关影片| 日韩精选无码| 亚洲欧洲精品无码AV| 五月天中文字幕mv在线| 精品人无码一区二区三区| 欧美麻豆久久久久久中文| 国产精品午夜无码AV天美传媒| 无码国产精品一区二区免费式直播 | 亚洲精品成人无码中文毛片不卡| 亚洲国产成人精品无码久久久久久综合 | 乱人伦人妻中文字幕无码| 亚洲精品无码成人片久久| 婷婷综合久久中文字幕蜜桃三电影| 无码乱人伦一区二区亚洲一| 日韩视频中文字幕精品偷拍| 亚洲爆乳无码精品AAA片蜜桃| 无码久久精品国产亚洲Av影片| 日本中文字幕在线电影| 中文字幕无码不卡在线| 精品无码av一区二区三区| 中文字字幕在线中文无码| 色综合中文综合网| 久久中文字幕人妻熟av女| 国产麻豆天美果冻无码视频| 亚洲人成无码网站在线观看| 亚洲精品人成无码中文毛片 | 亚洲 欧美 中文 在线 视频 | 久久精品无码专区免费青青|