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          磁控濺射鍍膜常見故障及解決辦法

          日期:2021-12-08   瀏覽量:6584

          磁控濺射鍍膜常見故障及解決辦法

          1.無法起輝

          (1)直流電源故障,檢查直流電源;

          (2)氬氣進氣量小,檢查氬氣流量計或加大氬氣進氣量;

          (3)真空室清潔度不夠,清潔真空室;

          (4)靶材絕緣度不夠,檢查靶是否與地短路,在通水的情況下,對地電阻應(yīng)該在50kΩ以上;

          (5)磁場強度不夠,檢查永磁體是否消磁;

          (6)真空度太差,檢查真空系統(tǒng)。

          2.輝光不穩(wěn)

          (1)電壓電流不穩(wěn),檢查電源;

          (2)真空室壓力不穩(wěn),檢查氬氣進氣量及真空系統(tǒng);

          (3)電纜故障,檢查電纜是否連接良好。

          3.成膜質(zhì)量差

          (1)基片表面清潔度差,清潔基片表面;

          (2)真空室清潔度差,清潔真空室;

          (3)基片溫度過大或過小,檢查溫控系統(tǒng),校準熱電偶;

          (4)真空室壓力過大,檢查真空系統(tǒng);

          (5)濺射功率設(shè)置不當,檢查直流電源,設(shè)置何事的設(shè)定功率。

          4.濺射速率低

          (1)氬氣進氣量過大或過小,觀察輝光顏色可以判定氬氣是過大還是過小,據(jù)此調(diào)整氬氣進氣量;檢修流量計;

          (2)靶材過熱,檢查冷卻水流量;

          (3)檢查永磁體是否消磁。


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